
Термопары для установки снаружи печи предназначены для измерения температуры с внешней стороны печной трубы и служат для косвенной оценки температуры внутри печи.
Термопары типа S/R для применения снаружи печей в полупроводниковой промышленности
Термопары для установки снаружи печи предназначены для измерения температуры с внешней стороны печной трубы и служат для косвенной оценки температуры внутри печи. Продукция, как правило, представляет собой одноканальные термопары с открытым измерительным спаем. Компактная и разборная конструкция обеспечивает удобный монтаж и обслуживание с внешней стороны печи. Устанавливается на внешнюю поверхность трубы печи диффузии и работает в комплексе с внутрипечными термопарами типа S/R, реализуя систему совместного контроля температуры по принципу "внутри печи + снаружи печи".
| Технические характеристики | Термопара для установки снаружи печи |
| Индексный номер | S, R |
| Диаметр термоэлектродов / оболочки | φ0.35~0.5 мм |
| Рабочий диапазон температур | 0~1000 °C |
| Точность измерения | ±1.0 °C |
| Длина защитной гильзы | 150~250 мм |
| Диаметр защитной гильзы | Φ4~6 мм |
| Материал защитной гильзы | Корунд (Алюминий оксид) |
| Конструкция измерительного конца | Открытый (неизолированный) спай |
| Количество измерительных точек | Одна точка |
| Способ подключения | Миниатюрный разъем |
| Компенсационные провода | SC-2x0.5FPF |
| Конструктивная особенность | Разборная конструкция, установка требует определенных навыков |
Адаптированы для высокотемпературной среды, обеспечивают стабильный сигнал. Простая и гибкая конструкция способствует точному позиционированию датчика и косвенному отражению температуры внутри печи.
Специально разработаны для печей диффузии, используемых в производстве фотоэлектрических кремниевых пластин. Совместный контроль температуры с внутрипечными термопарами повышает общую точность регулирования, упрощает монтаж и обслуживание.
Применение корундовой защитной гильзы и термоэлектродов из благородных металлов типа S/R обеспечивает стабильную работу при температурах до 1000°C.
Термопара типа S/R для внешнего измерения температуры в печах диффузии для фотоэлектрики
Термопара типа S/R с корундовой гильзой для установки снаружи печи
Одноканальная внешняя термопара типа S/R на 1000°C
Измерительный элемент типа S/R для внешнего контроля температуры в фотоэлектрическом оборудовании
Датчик температуры для внешней части печи диффузии