Продукция
Термопары типа S/R для применения внутри печей в полупроводниковой промышленности
Термопары для установки внутри печи предназначены для прямого измерения температуры кремниевых пластин непосредственно в рабочем объеме печи.
Описание
маркер
Описание продукта
Термопары типа S/R для применения внутри печей в полупроводниковой промышленности.
Термопары для установки внутри печи предназначены для прямого измерения температуры кремниевых пластин непосредственно в рабочем объеме печи.Как правило, представляют собой многоканальные термопары с 3-9 измерительными точками, что позволяет точно определять температурный профиль по пластинам.Продукция отличается надежностью, высокой точностью, стабильностью, быстрым тепловым откликом, устойчивостью к помехам, стойкостью к термическим ударам и длительным сроком службы.Могут использоваться для мониторинга и контроля температуры внутри таких устройств, как печи диффузии, окисления и отжига в полупроводниковом производстве.
Ключевые параметры
| Технические характеристики | Термопара для печей диффузии (Внутрипечная) | Термопара для печей окисления (Внутрипечная) |
| Тип (градуировка) | S, R | K, N |
| Диаметр термоэлектродов / оболочки | φ0.35~0.5 мм | φ2~4 мм |
| Рабочий диапазон температур | 0~1100 °C | 0~950 °C |
| Точность измерения | ±1.0 °C | ±1.5 °C или 0.4%t |
| Длина защитной гильзы | ≤4000 мм | ≤4000 мм |
| Диаметр защитной гильзы | φ12~18 мм | φ14~22 мм |
| Материал защитной гильзы | Кварц | 310S или 321 |
| Конструкция измерительного конца | Открытый (неизолированный) спай | Изолированный спай |
| Количество измерительных точек | 3~6 точек | 3~9 точек |
| Способ подключения | Миниатюрный разъем | Миниатюрный разъем |
| Компенсационные провода | SC-2x0.5FPF | KX(NX)-2x0.5FPF |
| Конструктивная особенность | Сложность комбинированной сборки отдельных термопар | Отдельные термопары могут свободно комбинироваться |
Особенности продукции
Металлические материалы обеспечивают высокую термическую стабильность, отличную линейность температурной характеристики и малую погрешность, что удовлетворяет требованиям прецизионных измерений.
Поддержка индивидуального заказа длины и диаметра зонда, а также способа монтажа для соответствия компоновке различных типов печей.
Оптимизированы для соблюдения требований чистоты, высоких температур и низкого уровня загрязнений в полупроводниковых печах, исключая влияние на производственный процесс.
Другие ключевые слова: Внутризонные термопары для печей диффузии, Термопара типа S, Термопара типа R.
Наши клиенты
О нашей компании
Понимание нашего производства
Сертификаты качества
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Термопара типа S
Термопара типа S (платинородий-10/платина) — это высокоточный температурный датчик, в котором в качестве термоэлектродов используются сплав платины с 10% родия и чистая платина.
Термопары типа платинородий-платина
Платинородиевые термопары — это высокоточные температурные датчики из благородных металлов, в которых в качестве термоэлектродов используются сплавы платины с родием и чистая платина (или другие сплавы платины с родием в различных пропорциях).
Вакуумная печь с графитовыми нагревателями
Вакуумная печь с графитовыми нагревателями — это высокотемпературная, высоковакуумная электрическая печь сопротивления, в которой в качестве нагревательных элементов используется графит.
Датчики для теплосчетчиков типа DS
Датчик PT1000 серии DS обладает преимуществами высокой стабильности, виброустойчивости и точной спаренной калибровки по сравнению со стандартными датчиками PT1000.
Термопары для обжига анодной массы
Термопара для обжига анодной массы — это специализированный датчик температуры, разработанный для печей обжига предварительно обожжённых угольных анодов (ПОА) в алюминиевой промышленности.
Биметаллические термометры
Биметаллический термометр измеряет температуру, используя принцип разного теплового расширения металлов.
Двухканальная термопара типа S
Двухканальная термопара типа S представляет собой высокоточный температурный датчик, в котором в одной общей защитной трубке размещены две независимые термопары типа S из благородных металлов.
Вакуумные герметичные платинородиевые термопары
Вакуумные герметичные платинородиевые термопары представляют собой специализированные измерительные устройства, объединяющие вакуумное герметичное соединение и чувствительный элемент на основе платинородиевой термопары.
Высокогочные термометры сопротивления
Термосопротивления классифицируются по конструкции на сборные и армированные (минералоизолированные); по материалу чувствительного элемента — на платиновые и медные и т.д.; по назначению — на промышленные платиновые, промышленные медные, встраиваемые термосопротивления для электродвигателей, метеорологические платиновые и другие специальные термосопротивления.
Износостойкие термопары
Износостойкие термопары представляют собой специализированные датчики температуры, разработанные для работы в условиях интенсивного абразивного износа: при высоких температурах, высокой скорости потока и воздействии абразивных частиц.
Вольфрам-рениевые термопары типа C
Вольфрам-рениевые термопары типа C — это специализированные термопары, использующие термоэлектроды из сплава WRe5-WRe26 в качестве чувствительного элемента.
Защитные гильзы для термопар
Защитная гильза является ключевым защитным компонентом термопары. Её основная функция — изолировать чувствительный элемент термопары от прямого воздействия измеряемой среды (высокие температуры, коррозия, абразивный износ, высокое давление), одновременно фиксируя положение термопары и обеспечивая стабильность измерений.
Двухэлементные платиновые термометры сопротивления
Сдвоенное платиновое термосопротивление — это высокоточный датчик температуры, в котором два независимых платиновых чувствительных элемента интегрированы в одну общую защитную гильзу.
Высокоточная термопара типа R из благородных металлов
Термопара типа R из благородных металлов (платинородий-13/платина) представляет собой высокоточный температурный датчик, в котором в качестве термоэлектродов используются сплав платины с родием и чистая платина.
Датчики для теплосчетчиков типа DL
Датчик PT500 — ключевой тип платинового термосопротивления, основной характеристикой которого является стандартное сопротивление 500 Ом при 0°C. Принцип точного измерения основан на линейной зависимости сопротивления платины от температуры.
Вакуумная печь для обезжиривания и спекания
Вакуумная печь для обезжиривания и спекания — это высокотемпературная, высоковакуумная электрическая печь сопротивления с нагревательными элементами из графита или молибденовой ленты.
