Продукция
Внутрипечная термопара S/R 3–9 точек для полупроводниковых диффузионных печей | Высокоточное измерение кремниевых пластин ЕАС
Термопары для установки внутри печи предназначены для прямого измерения температуры кремниевых пластин непосредственно в рабочем объеме печи.
Описание
маркер
Внутрипечная термопара для полупроводниковых печей
Наша внутрипечная термопара типов S и R разработана специально для эксплуатации внутри диффузионных, окислительных и отжиговых печей полупроводниковой отрасли. Данная внутрипечная термопара предназначена для прямого прецизионного измерения температуры кремниевых пластин непосредственно в рабочем объеме оборудования.
В стандартном исполнении внутрипечная термопара имеет многоканальную конструкцию с 3–9 отдельными измерительными точками. Такое решение позволяет строить точный температурный профиль по всей поверхности кремниевой пластины, полностью контролируя соблюдение технологического режима термообработки.
Эта внутрипечная термопара сочетает в себе ключевые эксплуатационные качества: высокая стабильность показаний, минимальная погрешность измерений, быстрый тепловой отклик, устойчивость к электромагнитным помехам цехового оборудования, стойкость к резким термическим ударам и увеличенный срок непрерывной службы. Все компоненты внутрипечной термопары подобраны с учетом строгих норм чистых производственных зон, они не выделяют посторонних примесей и не загрязняют кремниевые заготовки во время процесса.
Технические параметры внутрипечной термопары S/R
|
Параметр |
Внутрипечная термопара для диффузионных печей (S/R) |
Внутрипечная термопара для окислительных печей (K/N) |
|
Тип градуировки термопары |
S, R |
K, N |
|
Диаметр термоэлектродов / оболочки |
0,35–0,5 мм |
2–4 мм |
|
Рабочий температурный диапазон |
0–1100 °C |
0–950 °C |
|
Погрешность измерения |
±1,0 °C |
±1,5 °C или 0,4% от измеряемой температуры |
|
Максимальная длина защитной гильзы |
≤ 4000 мм |
≤ 4000 мм |
|
Диаметр защитной гильзы |
12–18 мм |
14–22 мм |
|
Материал защитной гильзы |
Кварц (химически инертный материал для чистых цехов) |
Нержавеющая сталь марок 310S / 321 |
|
Конструкция измерительного спая |
Открытый неизолированный спай, обеспечивающий быстрый тепловой отклик |
Изолированный спай, защищенный от короткого замыкания |
|
Количество измерительных точек |
3–6 точек |
3–9 точек |
|
Тип разъема подключения |
Миниатюрный разъем стандартного образца |
Миниатюрный разъем стандартного образца |
|
Используемые компенсационные провода |
SC-2×0.5FPF |
KX(NX)-2×0.5FPF |
|
Конструктивная особенность |
Сложная комбинированная сборка по индивидуальным чертежам заказчика |
Свободная комбинация отдельных каналов под задачи производства |
Преимущества нашей внутрипечной термопары
Стабильность точности при высоких температурах Благородные металлы, используемые при изготовлении внутрипечной термопары S/R, обеспечивают идеальную линейность температурной характеристики и минимальную погрешность измерений. Это полностью удовлетворяет строгим требованиям прецизионного контроля процессов микроэлектронного производства.
Полное индивидуальное изготовление Мы производим внутрипечную термопару с любым требуемым диаметром и длиной зонда, адаптируем систему крепления под конструктивные особенности любых моделей полупроводниковых печей. Все параметры изделия согласовываются с инженерами заказчика на этапе проектирования.
Адаптация под чистые производственные линии Конструкция и материалы внутрипечной термопары оптимизированы для работы в условиях повышенных температур и строгих санитарных норм цехов. Отсутствие выделяемых примесей исключает риск порчи кремниевых пластин и сбоев технологического цикла.
Стойкость к постоянным эксплуатационным нагрузкам Внутрипечная термопара выдерживает многократные перепады температур, не реагирует на электромагнитные помехи промышленного оборудования. Благодаря этому снижается частота замен датчиков и простои производственной линии.
Области применения внутрипечной термопары
Диффузионные печи полупроводникового производства
Окислительные печи для обработки кремниевых пластин
Печи термического отжига микроэлектронных компонентов
Линии прецизионного температурного контроля в чистых комнатах
Наш ассортимент измерительных датчиков соответствует действующим российским метрологическим стандартам
Наши клиенты
О нашей компании
Понимание нашего производства
Сертификаты качества
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Лабораторная атмосферная печь 1400-1600°C с нагревом MoSi₂ и вакуумной системой
Лабораторная атмосферная печь является специализированным оборудованием для высокотемпературной термообработки. Наша модель оснащена нагревательными элементами из дисилицида молибдена (MoSi₂), обеспечивает стабильную работу в диапазоне 1400–1600 °C и поддерживает вакуумную откачку с последующей обратной подачей защитного газа как азота, что идеально для спекания керамики, обработки металлов и других процессов, требующих контролируемой атмосферы.
Термопара типа S (платинородий-10/платина): 1600°C высокоточный температурный датчик
Термопара типа S (платинородий-10/платина) — это высокоточный температурный датчик, в котором в качестве термоэлектродов используются сплав платины с 10% родия и чистая платина.
Высокоточная термопара типа R: 5 причин выбрать для высокотемпературных измерений
Термопара типа R из благородных металлов (платинородий-13/платина) представляет собой высокоточный температурный датчик, в котором в качестве термоэлектродов используются сплав платины с родием и чистая платина.
Термопара S/R для внешнего монтажа на печь 0–1000°C | Датчик внешнего контроля диффузионных печей полупроводников
Термопары для установки снаружи печи предназначены для измерения температуры с внешней стороны печной трубы и служат для косвенной оценки температуры внутри печи.
Внешнеобогреваемая вакуумная печь GR-10-09 900℃ для термообработки и спекания
Данная серия изделий подходит для предварительной обработки стеклянного порошка, сварки стеклянных пластин, отжига световых стержней, удаления связующего в защитной азотной атмосфере подложек из нитрида кремния, спекания керамических медных ламинированных плит, вакуумной пайки и всех предварительных испытаний с требованиями высокотемпературной обработки.
Высокогочные термометры сопротивления
Термосопротивления классифицируются по конструкции на сборные и армированные (минералоизолированные); по материалу чувствительного элемента — на платиновые и медные и т.д.; по назначению — на промышленные платиновые, промышленные медные, встраиваемые термосопротивления для электродвигателей, метеорологические платиновые и другие специальные термосопротивления.
WZPK1-A7 термопреобразователь сопротивления (ТСМ): Надежное измерение температуры от -200 до +600 °С
PT100 RTD термометр предназначен для измерения температуры газов, жидкостей и пара. Широко применяется в химической промышленности, электростанциях, нефтяной и металлургической отраслях и других сферах. Обычно используется в комплексе с контрольно-измерительными приборами, индикаторами и компьютерами для контроля и регулирования температуры.
1100-1400℃ Лабораторная коробчатая атмосферная печь с нагревом SiC, вакуум и азотная подпитка
📑 Содержание Обзор продукта Основные особенности коробчатой атмосферной печи Технические параме...
Производственная печь для удаления связующего и предварительного обжига 1200°C | Серия XR
Производственная универсальная печь для удаления связующего и предварительного обжига серии XR — это высококачественное промышленное оборудование на 1200 °C.
Название продукта: Вольфрам-рениевый керамический термопара
Вольфрам-рениевая термопара является металлической термопарой для измерения сверхвысоких промышленных температур. Благодаря отличным термостойким свойствам максимальная температура измерения достигает 3000 °C. Она является основным температурным датчиком в экстремальных высокотемпературных условиях, таких как вакуум, восстановительная и инертная атмосфера. Оснащена различными защитными гильзами, подходит для разных промышленных условий. Широко применяется в плавке тугоплавких металлов, высокотемпературных печах, вакуумной термообработке, аэрокосмических высокотемпературных испытаниях и других отраслях.
R-образный вакуумный переходной комплект | Вакуумный переход для термопары | Герметичный
Описание продукта | R-образный вакуумный переходной комплект R-образный вакуумный переходной комплект — это важный конструкционный узел, предназначенный для обеспечения электрической изоляции и надежной передачи сигналов между вакуумной и атмосферной средами. Продукт широко используется в различных отраслях, где требуется точное измерение температуры в вакуумных условиях, и является незаменимым элементом для работы термопар типа R в вакуумных системах. Высококачественный R-образный вакуумный переход гарантирует стабильность работы и точность передачи сигнала в условиях высокого и сверхвысокого вакуумного режима.
Взрывозащищенные термопары: безопасное измерение температуры до 1200°C во взрывоопасных зонах
Взрывозащищенные термопары — это специализированные температурные датчики, предназначенные для эксплуатации во взрывоопасных средах, содержащих горючие газы, пары или пыль.
Многоточечный термопарный датчик типа S WRS для диффузионных печей
Компания Duchin Instruments разработала многоточечные благородные металлические термопары для измерения температуры по всей длине внутри диффузионных печей, ориентированные на потребности фотоэлектрического оборудования. В продукте реализованы собственные технологии: установка для калибровки многоточечных термопар, конструкция холодного спая, герметизация клеммного соединения, композитная металлическая оболочка для термопар в окислительных печах и другие. Изделие отличается надежностью измерения, высокой точностью, хорошей стабильностью, быстрым тепловым откликом, помехозащищенностью, устойчивостью к перепадам температур и длительным сроком службы.
Двухэлементное платиновое термосопротивление Pt100 (-200~850°C)
Сдвоенное платиновое термосопротивление — это высокоточный датчик температуры, в котором два независимых платиновых чувствительных элемента интегрированы в одну общую защитную гильзу.
Высокотемпературная подъемная печь SR серии на основе молибдена дисилицида 1600-1700°C | Лабораторная печь с нагревом стержнями MoSi2
1. Обзор продукта Высокотемпературная подъемная печь SR серии на основе молибдена дисилицида – э...
Четырехпроводной терморезистор PT100 высокой точности
Термистор сопротивления – это наиболее часто используемый датчик температуры в средне-низком температурном диапазоне, который измеряет температуру на основе свойства металлического проводника увеличивать сопротивление с повышением температуры.
